采用单边高精度6轴手动位移台。 对MUX器件，采用带有高速光开关的光源与光功率计。 对于DEMUX器件，采用大面积PD探头。 配有激光照射单元，可初步调整2轴平行。 配有双镜头，可通过图像视频调整端面平行。

系统组成

DEMUX

1)高精度手动六轴位移台

2)FA夹具

3)波导芯片夹具

4)双镜头观察单元

5)PD探头及调节机构

6)UV光源夹具

7)龙门架, 光学平板

8)带有高速光开关的光源

MUX

1)高精度手动六轴位移台

2)FA夹具

3)波导芯片夹具

4)双镜头观察单元

5)UV光源夹具

6)龙门架, 光学平板

7)带有高速光开关的光源与光功率计

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