由显微变焦镜头、CCD、监视器等组合而成的观察系统，担负着在对准耦合过程中初调呈像的作用，主要观察器件与器件间的接触部份以及输入端的可见光。独立式多维度高性能观察系统采用独立 CCD 设计，使用性灵活，操作可调性简单多变，可正面和侧面监视初调过程的每个动作，并通过燕尾调节架进行三向调整(XYZ)，能快速改变镜头焦距，并移动镜头找出*利于观察器件的位置，再通过监视器输出图像。相比传统的显微镜方式，一是在线监视效率提高，二是人员在操作过程中更为轻松。